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看完本篇你就知道什么是圓探針式臺階儀了

更新時間:2022-07-14點擊次數(shù):642
  臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
 
  其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。
 
  傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。
 
  圓探針式臺階儀主要用于材料的結(jié)構(gòu)及表面解析,在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域大顯身手。
 
  同時按照應(yīng)用的領(lǐng)域不同,要求不同,臺階儀的型號也多種多樣,下面以我們優(yōu)尼康提供的一款型號為P-17的臺階儀為例,簡單介紹下這款儀器的功能以及應(yīng)用,以供大家參考了解臺階儀可以做什么,有哪些功能,該型號為常用款,如有更高需求也可以咨詢我們,會為大家推薦更合適的機臺。
 
  通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及光學(xué)變焦相機等功能,程序設(shè)置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可支持2D或3D測量。 圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。
 
  圓探針式臺階儀的設(shè)備特點如下:
 
  臺階高度:幾納米至1000μm
 
  微力恒力控制:0.03至50mg
 
  樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
 
  視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機
 
  圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
 
  軟件:簡單易用的軟件界面
 
  生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化
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